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非接触晶圆wafer厚度测量,TTV、bow、warp和平整度/翘曲度测量,晶圆全检仪

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所 在 地: 中国 
发布时间:2015-04-17

北京特博万德科技有限公司

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产品介绍

美国测量科技仪器公司生产的晶圆全检仪,适用于各种晶圆尺寸和材料的测量仪器。
产品系列型号包括手动、半自动和全自动三种模式。能够测量包括SiGaAsInPGe等几乎所有的材料,强大的软件功能能够在几秒内测试晶圆的厚度、TTVbowwarp和平整度,此外可以通过增加一个软件模块,去计算晶圆在工艺处理前后产生的应力。所有的计算都符合ASTM(美国材料实验协会)Semi标准,确保与其他工艺仪器的兼容与统一。
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