首页 > 厂商资讯 > 恭贺北京优纳无掩模光刻设备研发成功
恭贺北京优纳无掩模光刻设备研发成功
来源:北京优纳科技有限公司   时间:2010-04-09
优纳科技与其日本控股公司共同完成无掩模(Maskless)光刻(Lithography)设备的研发,成为国内第一台基于数字微反射(DMD)技术实现的无掩模光刻的设备,该设备可广泛应用于纳米电子,平板显示,半导体,MEMS,μTAS,LCD,s生物芯片,和各类功能材料等领域,该设备具有以下特点:

1,利用DMD的缩影投射技术实现1每米的像素

2,实现薄膜透明材料的自动对焦

3,利用灰度图像投影可实现三维保护膜加工

4,采用405纳米波长LED光源,极大提高设备的可维护性和使用寿命

5,利用TTL(through-the-lens)对位技术实现高精度位置对准

6,可以实现不同厚度(亚微米-100微米以上)的保护膜兼容

7,重复位置精度0.1微米

8,各类光刻参数可以自由调节实现各种光刻的需要,可以制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字等

9,支持标准CAD格式,兼容DXF,GDSII等

推荐厂商