1,利用DMD的缩影投射技术实现1每米的像素
2,实现薄膜透明材料的自动对焦
3,利用灰度图像投影可实现三维保护膜加工
4,采用405纳米波长LED光源,极大提高设备的可维护性和使用寿命
5,利用TTL(through-the-lens)对位技术实现高精度位置对准
6,可以实现不同厚度(亚微米-100微米以上)的保护膜兼容
7,重复位置精度0.1微米
8,各类光刻参数可以自由调节实现各种光刻的需要,可以制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字等
9,支持标准CAD格式,兼容DXF,GDSII等