产品名称：【供应】Probe Station探针台
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发布时间：2008-09-02
详细说明：
1、chuck(载盘)中心孔径250um，其间开有2“ 4”6“真空吸槽，可吸附6（8）英寸以下之wafer及单颗IC。
2、X-Y stage满行程移动范围6（8）英寸，即chuck的任意边缘点都可以移至显微镜中心点进行量测。
3、X-Y采用huged-knob设计，操作便利，并且lead screw采用美国进口，防止backlach现象，进而很好的保证了
1um的移动精度。
4、显微镜X-Y-Z三个方向可以移动，移动范围50*50*50mm，移动精度1um。
5、显微镜有专用的把手，可以把显微镜抬起，便于镜头切换。
6、Platen采用6点支撑，稳固耐用很好的保证了升降的水平效果；并且设有快速lever及Fine Adjusted Knob,方便
user使用probe card
7、 Chuck有快速导入导出功能，人性化的上下料，并且在测试时可以锁住，保证测试的稳定性。
Auto curve tracer