产品名称：【供应】美国等离子去胶机/清洗机（Mini型台式）
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发 货 期：天内发货
发布时间：2015-04-17
详细说明：
Remarks:
l Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 6”*6”*4”
l Electrode Configuration, Silngle 5”*5” Horizontal
l RF Generator & Matching Network 125W, 50KHz
l 1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow Control, 0~25 CC/min
Vacuum Gauge, 0~1Torr
l Vacuum Pump, 5 CFM, Oxyger Service
l Process Sequence, Single
l AC Input 120V, 50Hz, 15A
热氧硅片/氧化层硅片/氮化硅层硅片/ S
R向蓝宝石（1102）晶向现货
Entegris英特格晶圆盒晶片盒