详细说明:
1,GHW Series 13.56 MHz, 1.25, 2.5, and 5.0 kW High-Reliability RF Plasma Generators
2,频率:13.56 MHz
3,输入电源:200∕208∨和360∕504∨三相交流电,50∕60 Hz 4,冷却方式:温度不超过35℃的冷却水
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