详细说明:
LM25-23龙门式双轴直线电机平台
技术指标:
l 设计行程:250X230mm
l 外形尺寸:450X420X180mm
l 定位分辨率:5um~0.5um
l 重复定位精度:10um
l 龙门式结构,直线电机驱动,XY双轴联动
Z轴及试验装置安装接口
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