产品介绍

RE DIXON射频发生器\流量控制器\反应器

   上海胤旭机电设备有限公司优价销售RE DIXON位于出来的内华达州卡森城，离Tahoe湖一分钟。RE DIXON公司目前房子 3 万平方英尺的设施，以处理设备、 零部件和服务。

RE DIXON所提供的服务：

* 电解抛光* 轨道焊接* 工程 & 设计

* 合同制造* 原型* 现场服务* 创业公司* 关闭* 预定下午* 系统故障排除和修复* 工厂再制造* 气面板维修* 完成反应器再制造* 射频发生器* 电梯环和基板* 电子控制小组升级* 钟罩修理* 射频线圈的重建* 切换开关将重建* 双子座 I、 II、 III 将重建* 金反射器和修复* 技术支持

RE DIXON公司主要产品描述：

RE DIXON  Rexon 8 ® 反应器室

Rexon 8 ® 是已完成的最复杂过程的外延反应器室放大的版本、 重掺杂衬底、 原位多掺杂浓度和控制的掺杂梯度层的尖锐过渡宽度增长。Rexon 8 ® 反应器室被设计用于所有类型的半导体器件的制造。设计要满足的要求的超大规模集成电路、 CMOS、 离散、 数字、 线性模拟与聚介电分离设备。立式气体入口，旋转碳化硅涂层热感，加上专利的钟形配置和可调射频线圈的设计，给出了处理的晶片负载优良均匀性的厚度和电阻率。处理室和水暖设计有已制造的最高标准，以消除金属污染物。水和空气冷却黄金反射罩反射回的硅晶片的正面能量。这减少了通过晶圆片的温度差异所引起的应力。Rexon ®反应堆已被用于生长硅单晶从亚微米至厚达 250 微米。Rexon 8 ® 并不局限于一个或两个硅源，但同样执行好上硅烷，dichlorsilane。为那些工厂和铸造厂使用多个硅片直径可能改变这个反应堆以容纳任何从 150 毫米到 300 毫米的晶圆在几秒钟内。