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哈尔滨芯明天科技有限公司
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产品名称:【供应】6自由度XN-810系列纳米级精密定位工作台
当前价格:0/台
最小起订:1
供货总量:111
发 货 期:7天内发货
发布时间:2014-07-29

详细说明:

 型号 XN-810
结构形式 六杆并联式(hexapod)
驱动方式 压电陶瓷驱动
运动自由度 X,Y,Z,θX,θYZ
负载能力 5kg
位移分辨率 ±2nm
线性度 0.5%F.S

直线定位精度 
±20nm
旋转定位精度 ±0.6μrad
固有频率±20% 1250Hz
刚度 75N/μm
X轴行程范围 ±18μm
Y轴行程范围 ±18μm
Z轴行程范围 ±9μm
θX行程范围 ±0.4mrad
θY行程范围 ±0.4mrad
θZ行程范围 ±0.6mrad
重量 1320g
操作方式 开/闭环控制
控制器 XE-500/501模块化控制器


  

 

 

详细技术参数请参阅:http://www.xmtkj.com

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