产品名称：【供应】6自由度XN-810系列纳米级精密定位工作台详细说明：
| 型号 | XN-810 |
| 结构形式 | 六杆并联式（hexapod） |
| 驱动方式 | 压电陶瓷驱动 |
| 运动自由度 | X,Y,Z,θX,θY,θZ |
| 负载能力 | 5kg |
| 位移分辨率 | ±2nm |
| 线性度 | 0.5%F.S |
直线定位精度 |
±20nm |
| 旋转定位精度 | ±0.6μrad |
| 固有频率±20% | 1250Hz |
| 刚度 | 75N/μm |
| X轴行程范围 | ±18μm |
| Y轴行程范围 | ±18μm |
| Z轴行程范围 | ±9μm |
| θX行程范围 | ±0.4mrad |
| θY行程范围 | ±0.4mrad |
| θZ行程范围 | ±0.6mrad |
| 重量 | 1320g |
| 操作方式 | 开/闭环控制 |
| 控制器 | XE-500/501模块化控制器 |
详细技术参数请参阅：http://www.xmtkj.com
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