详细说明:
型号 | XN-810 |
结构形式 | 六杆并联式(hexapod) |
驱动方式 | 压电陶瓷驱动 |
运动自由度 | X,Y,Z,θX,θY,θZ |
负载能力 | 5kg |
位移分辨率 | ±2nm |
线性度 | 0.5%F.S |
直线定位精度 |
±20nm |
旋转定位精度 | ±0.6μrad |
固有频率±20% | 1250Hz |
刚度 | 75N/μm |
X轴行程范围 | ±18μm |
Y轴行程范围 | ±18μm |
Z轴行程范围 | ±9μm |
θX行程范围 | ±0.4mrad |
θY行程范围 | ±0.4mrad |
θZ行程范围 | ±0.6mrad |
重量 | 1320g |
操作方式 | 开/闭环控制 |
控制器 | XE-500/501模块化控制器 |
详细技术参数请参阅:http://www.xmtkj.com
哈尔滨芯明天科技有限公司
电话:0451-86267847、86268790
欢迎咨询请留下您的联系方式: