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滑动式二硫化钼CVD制备设备 产品负责人： 姓名：贺工(Kevin) 电话：180 1976 2603 邮箱：chinan-he@auniontech.com 一、 概述 硫粉预热器采用管内测控温以保证在250℃以下，稳定控制硫蒸汽的蒸发时机和蒸发温度。真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。采用耐腐蚀电阻电容复合真空计（在1000Pa以上测量不受气体种类影响，耐硫蒸气腐蚀），通过调节真空蝶阀的开启程度调节炉管内压力稳定，在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。 二、 设备组成 HCVD-1200S双温区管式炉，HTF400C硫粉预热器(双温区管式炉与预热器可滑动)，质量流量计供气系统，机械式真空泵等组成。 三、 主要技术参数 硫粉预热器 型号：HTF-400C 工作温度：350℃ MAX温度：400℃ MAX升温速率：30℃/min 推荐升温速率：10℃/min 控温方式：智能化30段可编程控制 工作电压：AC220 V额定功率：800W 控温精度：±1℃ 加热元件：电阻丝 双温区硫化炉 型号：HCVD-1200S 技术参数：额定功率(KW):3 额定电压(V):AC220v 50/60 Hz MAX温度(℃):1200（1 hour） 持续工作温度(℃）：1100 升温速率（℃/min）：≤50 炉管尺寸（mm）：高纯石英管Φ50×1500mm 加热区长度（mm）：440mm 恒温区长度（mm）:200mm 控温方式:模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 控温精度(℃):±1 加热元件:电阻丝 供气系统GMF3Z 质量流量计重量：35Kg 外形尺寸：600x600x650mm 连接头类型：双卡套不锈钢接头 标准量程（N2标定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根据用户要求定制） 准确度：±1.5%线性：±0.5～1.5%重复精度：±0.2% 响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec 工作压差范围：0.1～0.5 MPa MAX压力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 显示：4位数字显示 工作环境温度:5~45℃ 内外双抛不锈钢管：Φ6 压力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止阀：Φ6 低真空机组VAU-02 技术参数： 空气相对湿度≤85% 工作电电压：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽气速率：4L\s 极限真空：4X10-2Pa 实验真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 进气口口径：KF25 排气口口径：KF25 转速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸:450×180×240mm 配真空粉尘过滤器，DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力，INFICON PCG554复合真空计