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高低温真空探针台 姓名：吴工(Arrow) 电话：180 1744 0218 邮箱：jinlong-wu@auniontech.com 概述 M5VC真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到1000℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至77K/10K，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。 应用 可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。 技术参数 显微镜配置 显微镜/视频显微镜 显微镜 放大倍数50倍 视频成像配置 CCD成像系统，放大倍数300倍 样品台尺寸80mm 漏电电流<10fA 真空室真空度 10-3Torr (10-6Torr或更高可选) 探针座配置 x/y/z行程40mm 精度 1μm 探针配置 尺寸 0.5X30mm 材质 金 温度范围 77K-570K 液氮制冷 10K-570K 液氦制冷 温度可到1000K 观察窗尺寸 100mm 真空系统 机械泵或分子泵 接口配置 三同轴 测试源表 连接各类测试源表，并可进行相应的软件二次开 发，加大系统整合性及测试稳定性