详细说明：

气体流量传感器（一） HoneyWell 美国

AMW系列
型 号 AWM3100V AWM3200V AWM3300V AWM5000V AWM43300V AWM43600V
量 程(sccm) 0～+200 0～+60(±20) 0～+1000 0～5/10/15/20
SLPM +1000 +6 SLPM
压 力 -- 0～+5 mbar -- -- -- --
工作电源
电压(VDC)
电流(mA)
功率(mW)
10.0±0.01
3 max
30 typ
10.0±0.01
3 max
30 typ
10.0±0.01
3 max
30 typ
10.0±0.01
--
100 max
10
6
60
10
7.5
75
外/内管径(mm) 5.1/3.6 5.1/3.6 5.1/3.6 1/4″
NPT/平滑接口 3.0/2.3 3.0/2.3
响应时间(ms) 3 Max 3 Max 3 Max 6 Max 3 Max 3 Max
输出电压(VDC) 5±0.15
＠200 sccm 5±0.15
＠1000 sccm 5±0.15
＠4.98 mbar 5±0.15
＠FSO 5±0.15
＠1000 sccm 5±0.15
＠6 SLPM
零点电压(VDC) 1.0±0.05 1.0±0.1 1.0±0.05 1.0±0.05 1.0±0.05 1.0±0.05
输出电压漂移
-25～25℃
25～85℃
(%FSO)
±6.0
-7.0
+24.0
-24.0
±6.5
±9.0
±7(VA/VN)
±10(VC)
-5.0
+6.0
-5.0
+6.0
零点漂移(mv)
-25～85℃ ±25 ±100 ±25 ±50 (typ)
±200 (max) ±25 ±250
灵 敏 度
(mV/sccm) 20＠200sccm 0.8V/mbar
＠±4.98mbar 4 ＠200sccm 0.8VDC/SLPM
可调 5＠±1000sccm 833mV/SLPM
＠6 SLPM
迟滞、重复性
(%FSO) ±0.50 max ±0.50 max ±1.0 max ±0.50 ±0.50 max ±1.00 max
工作温度(℃) -25～+85 -25～+85 -25～+85 -20～+70 -25～+85 -25～+85
存储温度(℃) -40～+90 -40～+90 -40～+90 -40～+90 -40～+90 -40～+90
压差(mbar) 0.5
＠±200sccm 0.5
＠±200sccm 1.5
＠±1000sccm 0.6 typ 可调 2.5＠FSO 19.9＠FSO
过压(mbar) 345 345 345 3500 150 psi max 150 psi max