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 “时钟和振荡器是所有电子系统的心跳”，正如Silicon Labs公司副总裁Dave Bresemann所说的，振荡器可谓电子系统正常运行的根本。一直以为石英晶振是任何物体都无法取代的频率元件，俗不知，SiTime、Discera及Epson Toyocom等大型晶振厂商都制造出了一种可以取代石英晶振的MEMS振荡器。MEMS振荡器是指通过微机电系统系统制作出的一种可编程的硅振荡器，属于我们通常所说的有源晶振。它是对传统石英晶体谐振器产品的一个升级更新换代，防震效果是前者的25倍，具有不受振动影响、不易碎的特点。MEMS振荡器的温度稳定性也比传统晶振更好，不受环境温度高低变化的影响。SiTime和Discera制造硅材料的MEMS振荡器，而Epson Toyocom的MEMS振荡器是采用被该公司称为“QMEMS”的工艺制造的石英MEMS振荡器。除SiTime、Discera和Silicon Clocks几家美国公司外，欧洲的恩智浦半导体、意法半导体等大企业都在投资MEMS振荡器的开发。另外，芬兰技术研究中心VTT、MEMS公司VTI及精工爱普生（Seiko Epson）等也在开发MEMS振荡器。与以往石英晶振的不同的是，相比小尺寸贴片晶振，MEMS振荡器的性价比更高。泰河电子负责人刘工解释说：“因为对于贴片晶振来说，价格随着体积变动，体积越小，价格越贵；而对MEMS振荡器，体积越小，占用的硅片越小，越便宜”。

   传统的石英振荡器是由压电石英加上简单的起振芯片和金属封装组成的，依赖机械式谐振器进行振荡，因此极易受到撞击和震动的影响，此外，还必须进行密封组装，以防止晶体受到污染，但这会影响器件的性能。其生产工艺包括：石英切割镀银、购买基座、起振芯片，以及将石英及芯片以特殊黏胶结合后至于基座上，然后充填氮气，用金属封装进行密封。而不同频率、不同工作电压振荡器的产生，则是由石英的不同形状、镀银厚度及所佩的起振芯片所决定。所以，从生产工艺角度，石英产业是一个人工密集型的半自动化传统产业，其产品也受到传统原材料和工艺的限制。与传统石英相比，全硅MEMS振荡器不管从生产工艺还是组件设计结构上，都更符合现代电子产品的标准，也是对传统石英产品的升级换代。且全硅振荡器没有移动元器件，因此不易受到撞击及震动的影响，和不会受到污染，采用塑料封装无须密封，使得启动及工作更为可靠频率稳定性，特别是在不同温度下的稳定性，是电子工程师在选择振荡器时考虑的主要参数之一。因为每一个设计，都需要保证系统在整个工作温度范围内正常运作。而温飘(频率随温度而显著变化的现象)则是传统石英晶振的弱点，难以单纯从制造上克服。MEMS既能作为可与CMOS集成的单芯片，又可在一个晶圆上构造多个谐振器成为SoC计时方案。这将带来更少的锁相环、更好的抖动性能以及更低的功耗和成本。