产品介绍
Sonoscan Gen6 C-SAM 超声波扫描显微镜
新一代的C-SAM技术
检测应用:1.材料内部晶格结构,杂质颗粒,沉淀物;2.内部裂纹;3.分层缺陷;4.空洞、气泡。
特点:
* 带有Multi-Gate的PolyGate技术和Probing-Gate功能可以实现单或多-聚集图像的能力
* 高达100 Gates/通道,具有2 Gsps采样率
* Windows 7 Ultimate用于多语言和64位能力
* 带有平衡块儿的惯性平衡线性马达可以减轻震动,并确保良好的扫描结果
* 扫描塔安装了扫描参考平台和样品固定装置
* 开放获取式扫描区域使得放入和取出样品更加容易,并有能力扫描JEDEC托盘或一片300mm晶圆
* 水循环和在线温度控制选项功能可用
* 虚拟扫描模式(VRM)储存压缩的数据,并使你在即使没有实际样品时也可以执行完整的样品分析
* SonoSimulator被集成到Gen6上,以帮助图像减薄和多层的样品,如叠层芯片
Gen6 的C-Mode扫描声学显微镜在声学显微图像(AMI)中是新的一代。同时从Gen5上秉承了好的特点(例如:它的边缘切割技术、先进的特点、美学和人体工程学)。
Sonoscan Gen6 C-SAM 超声波扫描显微镜提供了广泛的能力。无论你需要用于非破坏性失效分析、工艺研发、R&D、用于军事应用的高可靠性资质认证、低或中等数量的筛选,Gen6都能够满足你的需求。Gen6对于各种不同的应用都是支持的,例如:微电子、MEMS、SSL LEDs、功率模块儿、太阳能、高科技材料,等等。
先进的Sonoscan 能力,例如PolyGate、SonoSimulator、虚拟重新扫描模式(VRM),可选频域图像(FDI) 可增加价值和信心。带有较大的、容易进入的并且有灯光照明的扫描区域,Gen6配置的塔参照扫描和固定装置有能力有效的扫描每一个样品,从单个器件直到一片300mm晶圆。
Gen6在设计时还时刻以用户为中心。它的人体工程学特点使得它使用起来更舒适和方便。加上开放式进入带照明的塔参照样品台允许更容易放入和取出样品。Gen6是新一代 C-SAM,它提供了一系列技术、人体工程学和先进的Sonoscan成熟的特点。