金属材料、低温超导体、纳米材料、高掺杂半导体、光电二极管暗电流和加速器装置电子束流等特性测量应用都离不开对纳安级甚至更低电流的测量。其中所产生的电流很低,或者材料承受的功率很低,如单原子层石墨烯,故测量必须在弱电流下工作,以最大限度降低功率耗散和由于自加热而导致的破坏。类似的是,对绝缘体、聚合物、陶瓷和轻掺杂半导体的测量,也需要仪器具备对极弱电流的测量能力。对弱电流和高电阻的测量,要求仪器必须具有特殊的功能,并且采用出色的测量技术。用于实现这些高阻抗测量的仪器包括:静电计、皮安计和信号源-测量一体单元(SMU)。这些类型的仪器,若与良好的测量实践相结合,将有助于确保精确的和可重复的低信号水平的测量。本e手册对用于弱电流和高电阻测量的仪器和技术进行了综述。 |