高电阻测量已成为多种测试应用的组成部分，包括印制电路板的表面电阻（SIR）测试、绝缘材料和半导体的电阻率测量、高欧姆值电阻的电压系数测试等。确保高电阻测量（即高于1GΩ [10P9P欧姆]的电阻）的精度需要使用大量的特殊技术和仪器，例如静电计、源测量单元（SMU）、或皮可安培计/电压源组合。静电计可以采用恒压或恒流的方法测量高电阻。