源测量单元 (SMU)，例如吉时利 2651A型高功率系统源表仪器，是用于源出和测量电流和电压的最灵活、最精密的设备。正因如此，它们被广泛用于测试半导体器件，例如 MOSFET、IGBT、二极管、高亮度 LED 等。
