完全分析所有材料和器件需要进行精密直流、交流阻抗以及超快 I-V或脉冲 I-V测量。将测试设备连接到半自动或手动探测台的复杂性会使晶圆上的准确测量变得更为复杂。本文分析了直流、多频电容、超快 I-V和脉冲测试以及正确接地和屏蔽的重要性，为特定测量选择正确的互连方式，并排除常见的互连故障。