标题:

基于实验室自动化的ACS集成测试系统

类型:

技术文档

大小:

2949455B

语言:

中文

发布时间:

2012-09-05

文档介绍:

随着面市时间和测试成本的压力增大，需要继续仔细检查工具利用率和测试工程师的生产率。提高自动化水平是一种改善资源分配常规方法。从手动探测器的单管芯测试到半自动探测器的单晶圆测试的这一过程自然会通向自动探测器的全晶匣测。